光亮退火炉应是封闭的,与外界空气隔绝;采用作保护气的,只有一个排气口是通的(用来点燃排出的)。检查的方法可以用肥皂水抹在退火炉各个接头缝隙处,看是否跑气;其中容易跑气的地方是退火炉进管子的地方和出管子的地方,这个地方的密封圈特别容易磨损,要经常检查经常换。其次是保护气压力,为了防止出现微漏,炉内保护气应保持的正压,如果是保护气,一般要求20kbar以上。退火气氛:一般都是采用纯氢作为退火气氛,气氛纯度好是99.99%以上,如果气氛中另一部分是惰性气体的话,纯度也可以低一点,但是不能含有过多、水汽。
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